第49章 意外的熔点

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周一早晨六点半，陆晨被电话吵醒。

是林海打来的，声音急促：“陆总，出事了。氮化铜箔在第二次石墨烯生长时，熔点比预期低了整整两百度，样品全熔了。”

陆晨瞬间清醒：“熔了？设备呢？”

“设备还好，但反应腔里全是凝固的铜，清理至少要一天。”

“我马上过来。”

赶到实验室时，张明远正蹲在cvd炉前，透过观察窗看里面的一片狼藉。炉腔底部，暗紫色的铜块扭曲地凝结在石英支架上，像某种怪异的雕塑。

“昨天测试的样品是正常的。”张明远站起来，眼睛里有血丝，“同样的工艺，同样的参数，今天怎么就……”

“昨天那片氮化铜箔还在吗？”陆晨问。

“在。”林海从样品盒里取出来，“昨晚测完导热系数就收起来了。”

陆晨拿起那片样品。暗紫色，表面均匀，看不出问题。

“测过成分变化吗？”

“测了，氮含量百分之五点三，表面形成了氮化铜相。”张明远调出数据，“理论上讲，氮化铜的熔点应该比纯铜高，至少在一千度以上。”

“那为什么会熔在八百五十度？”陆晨盯着数据，“除非……氮化层不均匀，局部还是纯铜。”

“可能性很大。”张明远叹气，“但昨天的样品明明成功了。”

陆晨沉默了几秒。“昨天那片样品，生长石墨烯之前，测过氮化层厚度分布吗？”

张明远和林海对视一眼，都摇头。

“没有，我们只测了表面平均成分。”

“问题可能就在这儿。”陆晨走到白板前，“氮化处理是表面反应，厚度均匀性很难控制。昨天那片可能刚好均匀，今天这片可能局部厚度不够。在石墨烯生长的高温下，薄弱点先熔化，然后整个铜箔垮掉。”

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